是利用静电为能量源的一种能量转换装置。具有结构简单,空载转速高的优点,随着MEMS( 微机电系统)开发的深入,作为MEMS中关键部件的静电电动机的研制越来越受到人们的关注。目前静电电动机已经在一些基本上不需要功率输出的场合得到了应用。