由入射粒子引起的初级反冲及其级联过程，造成了一个高的损伤区，在此区域入射粒子和反冲原子有一部分剩余的能量将转为晶格的热振动。这将使固体局部的温度升高。这种局部的高温点称为热峰(thermal spike)。