光电子谱是光电效应中产生的光电子的能量分布谱。通常采用软X射线(如MgKa与AlKa线)和真空紫外线（如HeⅠ和HeⅡ的气体放电激发）作为激发光源，分别称为X 射线光电子谱(XPS)和紫外线光电子谱(UPS)。