超微粉无法由机械粉碎得到，只能通过其组成质点的凝聚成核和晶核生长来制备。超微粉体的制备方法按组成质点的产生途径，可分为气相法、液相法和固相法。 气相法按组成质点产生方式可以分为蒸发凝聚法和气相反应法。 蒸发凝聚法是以物态变化为基础的，工艺是将原料用电阻炉、高频感应炉、电弧或等离子体加热气化，然后急速冷却，以凝聚产生超微细粉。